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古河電工時報 第106号

半導体製造用紫外線硬化型粘着テープの粘着特性 (I)―レオロジー視点からのアプローチ―

小澤武廣,石渡伸一,加納義久

概要

アクリルコポリマー[ポリ(アクリル酸2-エチルヘキシル-co-アクリル酸); P(2EHA-AA)]と紫外線(UV)硬化オリゴマー[ウレタンアクリレートオリゴマー; UAO]とのブレンドについて,剥離力,プローブタック,保持力などの粘着(PSA)特性を評価した。P(2EHA-AA)/UAOブレンドの剥離力とプローブタックの値は,UV照射により劇的に低下した。一方,保持力に関しては,すべてのブレンドにおいて(UV硬化したブレンドでさえ),高保持力を維持した。このPSA特性の低減化メカニズムを,動的粘弾性,DSC,動的接触角(DCA)により調査した。すべてのブレンド(UV未照射,UV照射ともに)について,剥離力は貯蔵弾性率E´,損失弾性率E"の増加に伴い単調に低下した。また,UV 照射後のブレンドにおける弾性率,ガラス転移温度(Tg)はUV照射前のブレンドより高い値を示した。それゆえ,剥離力とプローブタックの低減は,UV照射に伴う弾性率の増大,及びTgの上昇に起因しているものと判断した。すなわち,接着試験を行う際に,UV硬化したブレンドでは,変形エネルギー能率が低下したものと推測した。他方,DCAの測定結果では,ブレンド表面におけるポリマー鎖のセグメント運動性は,剥離力,プローブタック値の低減化に影響を及ぼさないものと推察した。


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