喜瀬智文、ニャカシュ ペーテル、丸山一臣、清田和明、横内則之
概要
垂直共振器型面発光レーザ（vertical-cavity surface-emitting laser：VCSEL）の大口径かつ単一横モード化を実現する技術の1つとしてフォトニック結晶VCSELが期待されている。フォトニック結晶VCSELとは，VCSELの素子上面に形成した周期的な円孔配列による弱い屈折率閉じ込めによって横モードを制御するものであり，従来の酸化狭窄型に比べて大口径で単一横モード発振が実現可能である。本報告では，本デバイスを実現するに当たり要素技術となる，単一横モード化のためのフォトニック結晶構造の設計，デバイス作製技術，及び実現された素子特性について紹介する。
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