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ニュースリリース

半導体チップ多段積層用ダイシングダイボンディング一体型フィルム(DDF)の生産能力を倍増 〜三重新工場に平塚工場と同等の能力増強し200万m2/年へ〜

2008年4月17日

古河電気工業(以下、当社)は、半導体製造用テープの一種で、高密度3次元実装パッケージ(スタックド・マルチチップ・パッケージ/以下、スタックドMCP)に使用される「ダイシングダイボンディング一体型フィルム(以下、DDF)」の生産能力を、2008年4月に倍増しました。

2008年1月より半導体製造用テープの製造を開始した三重事業所・第2工場に、平塚事業所・第1工場と同等の能力である、100万m2/年のDDFの設備起業を行いました。投資金額は3.2億円です。これ により、当社のDDFの生産能力は100万m2/年から200万m2/年となります。

増産の背景

DDFの写真
DDFの写真

PCのみならず、デジタル家電や自動車など、半導体市場の裾野はますます広がっており、今後も安定した成長が見込まれております。また、携帯電話やデジタルカメラ・メモリーカードの高機能化、アップル社の「i-Pod」に代表される携帯オーディオの爆発的な普及等に伴い、メモリー容量も飛躍的に拡大し、スタックドMCPの採用が加速されております。

半導体市場の拡大に合わせ、当社も半導体製造用テープ事業の増強を続けてきております。2008年1月には、32億円を投じた三重事業所・第2工場が稼動を開始し、バックグラインド(研磨)用やダイシング(切断)用といった半導体製造用テープの生産能力は、2005年度の500万m2/年から倍増の1000万m2/年となりました。

更に、スタックドMCP採用の高まりに対応し、半導体チップの積層工程短縮を実現するDDFの生産能力も、2005年度の50万m2/年から段階的に増強し、この度、200万m2/年と致しました。

増産の内容、製品の特徴

半導体チップを積層するスタックドMCPでは、積層接着剤としてダイアタッチフィルム(以下、DAF)が使用されますが、中でも、ウエハー切断時にウエハー固定に使われるダイシングテープ(以下DCテープ)と一体化したDDFが、貼り合わせ工程を半減でき、薄型ウエハのハンドリングも容易にすることから、近年、主流となってきております。

紫外線硬化型DCテープで高い技術力を有する当社は、DAFのトップメーカーである日立化成工業殿と共同で、実装信頼性の高いDDF「FH−800」を2003年に開発しました。以来、日立化成工業殿製のDAFに、当社にて当社製の紫外線硬化型DCテープを貼り合わせ、各種「FH シリーズ」のDDFとし、 日立化成工業殿経由で、半導体パッケージメーカーへ販売し、ご好評いただいております。

年々拡大するDDFの需要に合わせ、日立化成工業殿も「2008年5月までにDAF生産能力を70%増強の200万m2/年にする」と2008年1月10日に発表されましたが、当社もこれに対応できる能力を確保し、さらに2008年度以降の需要増も見据えて、この度、DDFの生産能力を倍増の200万m2/年としました。増強した設備は、DAFとDCテープを貼り合わせ、プリカットする設備と、検査設備です。三重事業所・第2工場に設置しました。

今後も、お客様の求める高品質、高信頼性を満たす製品の開発・生産を進めていきます。

(補足)

DDF構成例

DDF構成例の図
日立化成殿と協業で2003年にDDF「FH-シリーズ」を上市

三重事業所・第2工場概要

2008年1月に一期分が稼動を開始し、当社の生産能力は、当初の計画通り、500万m2/年から1,000万m2/年へ、倍増となりました。

(参考) 2006年6月30日のプレスリリース
「半導体ウェハ製造プロセス用テープの生産能力を倍増
〜三重事業所内に第二工場を建設し2007年度には1,000万m2/年に〜」

延べ床面積 15,500m2 二期に分けて実施、一期分は8,500m2
クリーンルーム面積 一期分に3,600m2のクリーンルームを設置
外観写真

外観写真
手前:事務棟
奥:製造棟

日立化成工業(株)殿プレスリリース

2008年1月10日発表の 「新しいウィンドウを開きます。半導体用ダイボンディングフィルムの生産能力を70%増強−SSD時代到来を見据えた積極投資を実施−」 をご覧下さい。

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