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古河電工時報 第109号

狭帯域透過フィルタチップの開発

水野一庸,飯田義隆,味村 裕,阿部拓行,西 泰宏

概要

通信の大容量化,高速化に伴い,波長多重通信方式(Wavelength Division Multiplexing System, WDM System)の研究が活発に行われている。この伝送方式のキーデバイスである波長合分波器(Wavelength Division Multiplxer, WDM)に求められる要求特性のひとつに,信号光と隣接信号光との抑圧比がある。伝送容量の増大により信号波長間隔が狭くなる一方で従来の抑圧比を維持するために,WDMに使用される誘電体多層膜からなる狭帯域透過フィルタ(Narrow-Bandpass Filter, NBPF)にはMulti Cavity化され150層以上に多層化された膜構造が要求される。我々は,このような狭帯域透過フィルタを作製するために,成膜方式や膜厚制御方式を充分に最適化し,市場の要求する狭帯域透過フィルタチップの作製を可能とした。本報告では,最適化した内容を解説するとともに狭帯域透過フィルタチップの試作結果についても述べる。


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