酸や熱に対して粘着力変化の少ない表面保護用テープです。
酸エッチングやスパッタ処理などの工程にも『耐え』、ウエハ表面を保護します。
特長
- 優れたシーページ防止、耐酸エッチング性能
- 150℃までの耐熱性
仕様
酸エッチング用テープ
| テープ名 | SP-594M-130 | SP-537T-160 | CP9003B-205B | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 基材厚さ(µm) | 100 | 100 | 165 | ||
| 粘着剤厚さ(µm) | 30 | 60 | 40 | ||
| 粘着力 (N/25mm) |
♯280-SUS | UV前 | 7.9 | 4.1 | 1.8 |
| UV後 | 0.1 | 1.0 | - | ||
| Si ウエハ | UV前 | 3.0 | 1.5 | NA | |
| UV後 | 0.1 | 0.1 | - | ||
| 特長 |
|
|
|
||
（注） 上記データは代表値であり、保証値ではありません
加熱プロセス用テープ
| テープ名 | SP6002T-115 | SP6101T-40 | ||
|---|---|---|---|---|
| 基材厚さ(µm) | 75 | 25 | ||
| 粘着剤厚さ(µm) | 40 | 15 | ||
| 粘着力(N/25mm) | ♯280-SUS | UV前 | 6.0 | 1.4 |
| UV後 | 0.3 | 0.1 | ||
| Si ウエハ | UV前 | 2.5 | 1.1 | |
| UV後 | 0.1 | 0.1 | ||
| 特長 |
|
（注） バックグラインディング工程には非対応 |
||
（注） 上記データは代表値であり、保証値ではありません
適応工程
加熱による粘着力変化
加熱による粘着力変化を低く抑えることが可能です。
（注） 上記データは代表値であり、保証値ではありません
本製品に関するお問い合わせ