UV胶带是什么?

UV胶带是半导体加工过程中所使用的粘结胶带。主要的用途是在背面研磨的工艺工程中对晶圆表面的保护,以及在切割工程中固定半导体晶圆或把封装电路板固定在框架上。另外,也可以用在对陶瓷,玻璃,蓝宝石等各种材质的工件在加工过程中的保护和固定。

UV照射前和后,其粘结力会发生变化。UV照射后的粘结力减弱

UV固化反应的概要

UV胶带所使用的粘结剂,一般是由以下材料构成。

UV照射前粘结剂层的状态

基础聚合物是有着网眼构造的高分子。另一方面,有着流动性的低分子量聚合物参杂在基础聚合物的网眼之中。在这种状态下,粘结剂层比较柔软,相对容易融合到被粘贴物的表面。因此UV胶带的粘结剂层在UV照射前有着强劲的粘结力。

UV照射后粘结剂层的状态

通过UV照射低分子量聚合物之间引起聚合反应,从而形成新的网眼构造。其结果是,粘结剂层变成双重网眼构造并且硬化,结果造成粘结力降低。

UV照射前后的胶层状态变化的模式图

UV光源的种类和特征

适合UV胶带的UV光波长,一般在250~400nm的范围内,但不同的UV光源放射出的UV波长领域都不一样。

金属卤素灯(推荐)

金属卤素灯是在250~450nm的范围之间连续放射紫外线的光源。

虽然主波长是365nm,但也含有很多其它的波长。因为比高压汞灯有更多的发光波长,对于紫外线固化反应十分有利。但是,此光源照度较强,胶带有可能会受到热的影响。

高压汞灯(推荐)

以365nm为主波长,同时也能有效地放射出254nm,303nm,405nm,436nm等波长的光源。

黑光灯

在360nm处有峰值波长。荧光灯管的颜色有白色和蓝色两种。蓝色的种类比较接近紫外线,在360nm波长处集中发光。由于是荧光灯管其照度较低,只有金属卤素灯的1/10-1/5。

不同种类的UV光源有着不同的波长领域

怎样考虑最适合的UV照射条件?

最适合的UV照射条件是根据选用的胶带,UV光源的种类,以及晶圆表面的状态来决定的。

敝司的UV胶带在技术资料上记载了推荐的UV照射量,可以参考此数据来制定最适合的UV照射条件。

UV照射量是通过以下的计算公式算出其累计光量。

累计光量(mJ/cm2)=照度(mW/cm2)× 照射时间(sec.)

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