古河電工時報 第144号3次元アトムプローブを用いた化合物半導体及び銅合金の解析

佐々木宏和、埋橋淳、松田竹善、大久保忠勝

3次元アトムプローブを用いて化合物半導体中のドーパント及び銅合金の析出相の解析を行った。半導体解析において，本手法を活用すれば，ナノスケールでドーパント分布を可視化することが可能である。また，銅合金の解析においては，数ナノメートルの析出相の形状，大きさ，組成を3次元で解析することができる。